真空蜜桃人妻无码视频清洗机NE-PE80F-深圳水蜜桃网站免费视频科技有限公司

产品简介

射频真空蜜桃人妻无码视频清洗设备被广泛用于半导体基板的高精度清洁工作,该清洗设备具有密闭的舱室,为清洗工作创造真空或亚真空条件,利用高频高压使电极周围的气体电离而产生的蜜桃人妻无码视频体,真空状态下的蜜桃人妻无码视频体分布均匀,对半导体基板具有较高的清洗精度。与传统溶剂清洗方式相比,蜜桃人妻无码视频清洗有许多优点,如不污染环境、不需要清洗液体、清洗效率高、清洗效果好等,还可活化物体表面、增加表面润湿性能、改善黏着力。

产品参数

外形与结构	1	整机外形尺寸（含维修空间）	≤1300mm×1720mm×2018mm(高度包括信号灯及维修空间)
	2	地面承重	≤9 kN/m²
	3	外观质量	目视无凹痕、划伤、变形、污垢；涂覆层均匀无起泡、龟裂、脱落、磨损；紧固件无松动；操作件灵活；内腔无毛刺、碎屑
	4	铭牌内容	设备名称、型号规格、生产厂家、出厂编号、出厂日期、设备重量、总功率、外形尺寸
清洗性能	5	清洗方式	离线式射频清洗（贴片、引线）
	7	工艺模式	手动放料→自动清洗
	8	清洗后水滴角	≤30°
	9	适用产品/材料	各类框架、基板、管壳；GaAs、GaN、Si裸芯片；不得损伤空气桥、无ESD
	10	工艺节拍	清洗3 min，整节拍≤6min
	11	异常防护	清洗过程无闪火花
腔体与电极	12	腔内有效容积	83
	13	电极配置	≥6层平板电极；每层Floating、正、负极；极间距≥20 mm；可强洗/弱洗/免电子清洗；无毛刺、碎屑
	14	腔体材料与结构	航空铝；前开门；门带观察窗；内部无毛刺、碎屑
真空系统	15	气压控制	蝶阀自动调节
	16	真空检测量程	0.5 mTorr–100 000 mTorr
	17	极限真空（标配）	≤3 Pa（≈20 mTorr）
	20	干泵抽速（▲指标）	≥90 m³/h
	21	泵噪音	≤65 dB
	22	腔室漏气率	≤10 mTorr/min
气路系统	23	工艺气路数量	标配2路
	24	MFC量程	0–500 sccm/路
	25	MFC精度	≤±2.0 % F.S.
	26	支持气体	Ar、Ar/O₂、Ar/H₂等
	27	二维码功能	扫码自动录入程序，防误操作
射频电源	28	电磁密封	腔体全密封，RF馈入带防护罩，符合EMI要求
	29	阻抗匹配	全自动高速匹配器；真空可调电容；反射功率最小
	30	射频频率/功率	13.56Mhz；1000W，50W-满工本连续可调
	31	功率控制精度	≤±2 %
控制系统	32	控制架构	PLC+工控机；工控机≥4核/8 GB/1 TB；显示器≥19″ 1920×1080
	33	显示器	液晶显示器21.5寸，分辨率≥1920×1080
	34	权限管理	三级：主管、工程师、操作员
	35	故障提示与安全	实时故障显示；工艺自动监测；互锁保护
	36	工艺配方管理	可无限创建/删除/修改；硬盘存储
	37	数据追溯	数据库自动存储日志与工艺数据，≥3个月可查询
	38	软件维护	自主开发；质保期内免费升级；质保期后Bug免费优化
通信接口	39	SECS/GEM协议	支持GEM200（E4 E5 E30）
通信接口	40	SECS文档	提供SECS Manual + 全流程测试Log（含EAP初始化、Lot Event等）

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